一种银金钯铜铂铝合金及其制备方法

本发明公开一种银金钯铜铂铝合金及其制备方法，涉及半导体材料制造检测技术领域。该银金钯铜铂铝合金的组成按质量百分数计为：50~60%的Ag、10~15%的Au、8~12%的Pd、10~15%的Cu、3~8%的Pt、1~4%的Al；该银金钯铜铂铝合金的制备方法为：按比例称取Ag、Au、Pd、Cu、Pt、Al金属原料并对其进行打磨、清洗处理；将处理后的金属原料进行分步真空熔炼得到合金液；将合金液在模具中浇铸，通过连续拉铸得到细棒胚料；对细棒胚料进行多道次冷加工与中间退火得到合金丝材；之后对丝材进行固溶结合、时效热处理工艺以及精密磨削得到银金钯铜铂铝合金探针。本发明制备得到的银金钯铜铂铝合金兼具高硬度、优异耐磨损性能和高电导率，可用于制备芯片测试探针。