铝镓氮基深紫外发光二极管及其制备方法

本发明提供了一种铝镓氮基深紫外发光二极管及其制备方法，可应用于半导体光电子器件技术领域。该铝镓氮基深紫外发光二极管的结构包括一次设置的蓝宝石衬底、氮化铝缓冲层、n型铝镓氮层、多量子阱层、电子阻挡层、p型铝镓氮层、p型氮化镓接触层以及金属电极，其中p型铝镓氮层与p型氮化镓接触层中设置有台壁微纳反射结构，台壁微纳反射结构包括多个阵列分布的台壁微纳反射单元，台壁微纳反射结构通过混沌‑Jaya算法优化获得，用于提升深紫外发光二极管的光提取效率。