一种基于多模态数据融合的真空炉AI压力控制方法

本发明公开了一种基于多模态数据融合的真空炉AI压力控制方法，属于真空炉压力控制技术领域。该方法通过NI CompactRIO平台及IEEE 1588协议同步采集包括炉腔压力时序数据、加热区温度时序数据和气体流量时序数据的炉压力数据，并经局部离群因子算法、小波变换和卡尔曼滤波处理后，提取包括时域特征、频域特征和多模态关联特征的炉压力特征向量。构建AI压力控制模型，将炉压力特征向量输入AI压力控制模型，生成炉压力控制参数并转换为炉压力控制指令执行，同时对执行过程进行安全监测，异常时执行预设的安全策略并增量更新AI压力控制模型。本发明实现了真空炉压力的精准控制，提升了真空炉压力控制的安全性和自适应能力。