摘要
本发明提供了一种芯片测试机及芯片测试设备,涉及芯片测试技术领域。本发明中输送盘具有第一区域和第二区域,且用于承载被测芯片,测试基座设置成受控地朝向探针座移动至测试位,并使得测试芯片与探针卡接触。输送机构的中转通道的一端布置于探测座与芯片上下料机之间,中转通道的另一端与吸附组件对接,输送盘能够在中转通道上移动。吸附组件用于将测试基座上完成测试的被测芯片搬运至第二区域,并将第一区域上待测试的被测芯片搬运至测试基座。上述技术方案中被测芯片的上料和下料均采用同一个输送盘,输送盘输送一次就可以完成芯片测试机的上料和下料,可以减少输送次数,提高芯片的测试效率。
技术关键词
测试基座
芯片测试机
探针卡
芯片测试设备
传输组件
承载平台
探针座
芯片测试技术
通道
清洁机构
安装板
驱动件
工位
机架
机械手
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