一种半导体芯片表面缺陷检测方法及系统

本发明属于半导体芯片检测技术领域，本发明提供了一种半导体芯片表面缺陷检测方法及系统，包括：采集半导体芯片的芯片图像整合为芯片图像序列，并识别芯片图像内的疑似缺陷区域，在芯片图像序列内疑似缺陷区域进行匹配得到匹配组，根据匹配组判断疑似缺陷区域是否为真实缺陷区域，若是，对真实缺陷区域进行截取得到缺陷图像序列，构建并训练缺陷识别模型，对缺陷图像序列进行表面缺陷类型的识别，并评估识别的准确性，若准确性低，则触发融合缺陷复核分析，若触发融合缺陷复核分析，根据缺陷图像序列在半导体芯片上定位实际缺陷位置区域，采集并处理得到实际缺陷位置区域的融合特征，采用图神经网络识别得到实际表面缺陷类型。