摘要
本发明涉及岩石薄片检测技术领域,具体公开了一种多台原位测试仪器联用的岩石薄片定位检测方法,包括如下步骤:样品准备,将待检测的岩石样品进行切片处理,并且将原始样品横切为两部分,形成横切剖面I和Ⅱ,两者位置、大小完全对应,并且,两剖面平行度误差≤50μm,面积差异≤1%;仪器校准,设计通用样品台,并且,适配SEM、AFM、拉曼光谱仪和微区X射线荧光设备,将多台原位测试仪器进行校准;采用电子束诱导沉积的铂和碳纳米颗粒标记(精度<100nm),通过原子级结合技术固定于薄片边缘,相比传统微米级标记(误差>1μm),定位精度提升10倍以上,可精准匹配TEM和SEM仪器的纳米级视野。
技术关键词
原位测试仪器
定位检测方法
岩石薄片
扫描电子显微镜
X射线荧光设备
通用样品台
拉曼光谱仪
透射电子显微镜
金字塔分层
原子力显微镜
平行度误差
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原位测试设备
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