一种基于运行数据的半导体膜状扩散源生产效能评估方法及系统

本发明涉及半导体生产技术领域，且公开了一种基于运行数据的半导体膜状扩散源生产效能评估方法及系统，其通过对设备运行参数、环境参数和基础工艺参数数据进行采集与处理，构建效能预测模型和智能优化算法模型，获得优化效能指标，并据此对关键设备进行动态调整控制。本申请能够有效提升生产效能评估精度和控制能力，实现生产过程的智能化与精细化管理，显著提高生产效率，降低资源浪费，为半导体膜状扩散源的大规模高效生产提供可靠技术支持，通过引入设备运行数据与智能优化算法相结合的方式，可以有效提升半导体膜状扩散源生产过程中的效能评估精度和控制能力，从而实现生产过程的智能化和精细化管理。