一种功率模块散热结构及其制造方法

本发明公布了一种功率模块散热结构及其制造方法，属于半导体器件领域。首先，通过梯度压延工艺制备纤维增强相变层，再将低热阻界面材料与液冷板主体复合，使用覆膜设备将均温薄膜与低热阻界面材料复合，通过梯度热压工艺得到均温液冷板，然后将纤维增强相变层安装在芯片两侧，再将均温液冷板与芯片层交替堆叠，得到具有n层功率芯片与n+1层均温液冷板的堆叠结构（n≥1，且n为整数），再对装置整体加压并安装紧固结构，最后安装液冷管道并应用。本方法制备的散热结构具有空间利用率高、散热高效的特点。本方法操作简单、生产效率高，适用于工业化生产。