一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法

本发明公开了一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法，涉及真空炉控制技术领域，本发明通过分布式传感器阵列实时采集各腔室在不同工艺阶段的压力值，利用滑动窗口法计算压力梯度并识别异常点；基于真空度偏差序列，采用PID控制算法生成目标抽气速率，通过伺服电机调节阀门开度以优化真空度；结合计算流体力学模型和模糊控制算法优化腔室间压力差，利用时间序列分析预测压力梯度变化趋势，动态分配各腔室抽气速率。本发明能够有效解决现有串联式多腔室真空炉中，传统抽气系统难以适应各腔室不同工艺阶段对真空度和气体流量的动态要求，压力梯度和气体流动特性调控不佳，导致工艺稳定性、效率和产品质量受影响的技术问题。