一种基于光纤MEMS技术的应变计

本实用新型涉及一种基于光纤MEMS技术的应变计，包括：第一、第二挤压固定柱以及二者之间设置的第一形变梁和支撑连接板，第一形变梁包括第一、第二竖板和第一横板，第二竖板上的半圆弧缺口与支撑连接板上的1/4圆弧同心且两段相连，由此形成第二形变梁，支撑连接板上设置有带有光纤的准直器，准直器的出光侧对准与第二竖板呈夹角的MEMS芯片。这种应变计基于光纤MEMS高分辨率和高精度的优势，基本无变形滞后，可监测微小位移量，以提供可靠的数据支撑，同时不受电磁辐射和温度变化干扰，可以在强电磁辐射和温差变化大的环境中长期稳定工作。