用於檢測晶圓上的異常集成電路的方法及系統

一種用於檢測晶圓上的異常集成電路（IC）的方法，包括：對該晶圓上的複數個IC執行複數個測試項目，以生成複數個測量值；選擇一個目標IC和複數個鄰近IC，選擇該目標IC和該複數個臨近IC時，執行：從該目標IC的該複數個測量值中選擇一個測量值作為目標測量值，並選擇該目標IC和該複數個鄰近IC的與該目標測量值相關的複數個測量值作為複數個特徵值；執行變壓器深度學習模型，以生成該目標測量值的預測值；並且在為該所有目標IC生成複數個預測值後，根據該所有目標IC的該複數個預測值和該所有目標IC的相應目標測量值，識別異常IC。