一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置及方法

本发明公开了一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置及方法，该装置包括探测激光发射器、扩束准直镜、起偏器、第一DOE分光模块、硅片样品搭载模块、4个分支模块、放大及模数信号转换模块和和计算机；每个分支模块包括1/4波片、第二DOE分光模块、检偏器模块和光电探测器模块；探测激光发射器发出的探测光，经过扩束准直镜后入射起偏器变为线偏振光，入射第一DOE分光模块后分为多束光同时穿过硅片样品，分别入射1/4波片后变为圆偏振光，再经第二DOE分光模块后被分为四束平行光，被光电探测器模块接收后，经放大及模数信号转换模块后将数据信号传至计算机，使用偏振成像算法对其进行数据处理，最后得到主应力差值图，以此分析硅片样品的损伤情况。本发明结构设计合理，使用方便，具有硅片应力检测中的多通道快速扫描的优势。