半导体器件及其制备方法、电子器件

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半导体器件及其制备方法、电子器件
申请号:CN202410710190
申请日期:2024-06-03
公开号:CN118658877B
公开日期:2025-05-02
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、电子器件,涉及半导体芯片技术领域,旨在减少半导体器件的驱动损耗。该半导体器件包括:衬底、沟道层、势垒层、P型GaN层和第一栅金属层,沟道层位于衬底的一侧,势垒层位于沟道层远离衬底的一侧,P型GaN层位于势垒层远离衬底的一侧,第一栅金属层位于P型GaN层远离衬底的一侧;其中,半导体器件还包括:第二栅金属层,第二栅金属层包覆第一栅金属层以及P型GaN层远离衬底的部分,且第二栅金属层和势垒层之间设置第一钝化部。上述半导体器件应用于功率器件中,以实现增强的栅极控制能力。
技术关键词
P型GaN层 半导体器件 衬底 势垒层 栅极 肖特基势垒 半导体芯片技术 电子器件 功率器件 基板 长方形 损耗
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