摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、电子器件,涉及半导体芯片技术领域,旨在减少半导体器件的驱动损耗。该半导体器件包括:衬底、沟道层、势垒层、P型GaN层和第一栅金属层,沟道层位于衬底的一侧,势垒层位于沟道层远离衬底的一侧,P型GaN层位于势垒层远离衬底的一侧,第一栅金属层位于P型GaN层远离衬底的一侧;其中,半导体器件还包括:第二栅金属层,第二栅金属层包覆第一栅金属层以及P型GaN层远离衬底的部分,且第二栅金属层和势垒层之间设置第一钝化部。上述半导体器件应用于功率器件中,以实现增强的栅极控制能力。
技术关键词
P型GaN层
半导体器件
衬底
势垒层
栅极
肖特基势垒
半导体芯片技术
电子器件
功率器件
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