一种电光调制器及其光芯片、光模块和光通信系统

本发明涉及一种电光调制器及其光芯片、光模块和光通信系统，包括：提供一基底；位于所述基底一侧的绝缘层；位于所述绝缘层中的调制光路；所述调制光路包括输入电极部分和电光调制部分。本发明完美解决现有TFLN调制器单端驱动的技术难点，能够实现更小尺寸，更低成本，更适合未来先进封装演进的光调制器，光模块以及光通信系统，具有良好的应用前景。