一种三元掺杂氧化钒薄膜及其制备方法和应用

本发明公开了一种三元掺杂氧化钒薄膜及其制备方法和应用。本发明采用一步水热合成，简化了材料制备步骤并减少了杂质引入，有利于提高薄膜的纯度。通过三元掺杂抑制氧化钒晶体的生长，晶粒尺寸减小从而降低表面粗糙度。由金属相向绝缘相转变的临界温度值降低，更容易在接近室温的温度下发生相转变，有利于扩大其应用领域及工作温度范围。