衬底搬送机器人及具备衬底搬送机器人的衬底处理装置

本发明涉及一种衬底搬送机器人及具备衬底搬送机器人的衬底处理装置。衬底搬送机器人具备手及机器人控制部。手具备：设置在手主体的上表面且支承衬底的外缘部的4个导件(具有配置在手主体的前端侧的导件)、配置在手主体的基端侧的推杆、使推杆水平移动的推杆移动部、以及测量载置在手上的衬底的重量的重量传感器部。导件与推杆在水平方向上夹住4个导件上的水平姿势的衬底，从而夹持衬底。机器人控制部通过根据由重量传感器部测量出的重量来控制推杆移动部，而改变夹持4个导件上的衬底的夹持力。