一种阴、阳离子混合掺杂的改性氧化钒薄膜及其制备方法和应用

本发明公开了一种阴、阳离子混合掺杂的改性氧化钒薄膜及其制备方法和应用。本发明的方法能够掺杂抑制氧化钒晶体的生长，晶粒尺寸减小从而降低表面粗糙度。制备得到的改性氧化钒薄膜由金属相向绝缘相转变的临界温度值降低，且具有更合适的室温方块电阻值与更高的温度电阻系数，有利于扩大其应用领域及工作温度范围。