基于随机螺旋波导的片上中红外光谱仪

本发明涉及光谱仪的技术领域，提出一种基于随机螺旋波导的片上中红外光谱仪，包括依次连接的输入耦合器、输入波导、分光模块、螺旋波导阵列、输出波导和输出耦合器；其中，所述输入耦合器的输入端用于接收光束；所述分光模块具有若干个输出端，所述螺旋波导阵列包括若干个螺旋波导，所述分光模块的一个输出端连接一个螺旋波导；其中，每个螺旋波导包括S型波导和两根阿基米德螺线波导，所述S型波导的一端通过一阿基米德螺线波导与所述分光模块的一个输出端相连，所述S型波导的另一端通过另一阿基米德螺线波导与输出波导的输入端相连。