一种芯片刻蚀设备零件加工装置及加工方法

本发明公开了一种芯片刻蚀设备零件加工装置，包括包括反应池、安装架、循环液压泵、供气泵、气泡部件、控制器、正极连接线、负极连接线及网架，其中，所述反应池的底部固定安装在安装架上，所述循环液压泵固定安装在安装架内，所述供气泵固定安装在安装架上，所述气泡部件固定安装在反应池的内底部，所述控制器固定安装在反应池上。本发明高压气流体的空气从第二气泡发生管的第二气泡孔流向第一气泡发生管，第一气泡发生管的高压液流体与高压气流体碰撞产生微小气泡，再由分割板分割气泡，使得气泡变得更加微小，在电解液运动起来，在阳极氧化过程中提高氧气含量可以增强金属氧化物薄膜的性能，从而提升零件的耐高温以及耐腐蚀的性能。