对准传感器、光刻设备、半导体器件及电子设备

本公开提供一种对准传感器、光刻设备、半导体器件及电子设备。该对准传感器包括：照射系统，所述照射系统被配置为向晶圆上的对准标识发射在预设范围内波长线性可调的激光。本申请的对准传感器中，照射系统不再采用固定波长值的激光，而是可以发射在预设范围内波长线性可调的激光，从而能够在进行晶圆对准时找到最佳的晶圆对准波长，从而提高晶圆对准精度。在出现对准失败时，可以调节激光波长而重新对准，可减少返工，从而提高了生产效率。