一种互锁结构的柔性触觉传感器及其制备方法

一种互锁结构的柔性触觉传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。柔性触觉传感器包括上柔性保护膜、上传感基片、左电极、右电极、下传感基片和下柔性保护膜；上传感基片的下表面和下传感基片的上表面设置有相同的微脊阵列，其表面上沉积有导电层，微脊横截面的顶部尺寸比中部或底部大，相邻微脊之间形成凹槽，上、下传感基片的微脊插入相对的凹槽内，以形成互锁结构；左电极和右电极分别粘贴于下传感基片上表面的左侧和上传感基片下表面的右侧；上柔性保护膜和下柔性保护膜分别贴在上传感基片的上表面和下传感基片的下表面。本发明制备的互锁结构的柔性触觉传感器，对压力和切向力的响应均具有较高的灵敏度，并对切向力具有较宽的响应范围。