摘要
本发明公开了一种光学调制器芯片加工用双工位固晶机,本发明涉及芯片加工技术领域,包括安装台,所述安装台的上侧固定连接有轨道,所述轨道的上侧滑动连接有第一移动架,所述第一移动架的上侧滑动连接有第二移动架,所述第一移动架的外壁与安装台的外壁通过线性电机连接,所述第二移动架的外壁与第一移动架的外壁通过线性电机连接,所述第二移动架的前侧固定连接有两个所述安装块,左侧的所述安装块的外壁前侧固定连接有第一气动推杆,本发明通过设置有真空吸取器、第二气动推杆、晶元放置架、胶水放置架以及可对基板进行固定的移动板等结构,使其可对基板进行固晶操作,具有实用性强和可缩短基板更换时间的特点。
技术关键词
光学调制器
固晶机
移动板
真空吸取器
气动推杆
安装台
移动架
线性电机
工位
铰接板
芯片
安装块
运送机构
防堵机构
取料机构
滑动块
支架
胶水
气囊
基板
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