摘要
本申请公开一种芯片封装结构、电子器件及芯片封装结构的制作方法,所述芯片封装结构包括金属材料制成的承载层、芯片及封装层,所述芯片包括背向设置的背面和正面,所述正面设有电极,所述承载层包括安装面,所述安装面上凹设有凹部,所述凹部由所述安装面向所述承载层内凹陷,所述芯片容置于所述凹部,所述正面与所述安装面朝向相同,所述芯片的周侧面与所述凹部的侧壁之间具有间隙,所述封装叠设于所述承载层并连接于所述安装面并填充所述间隙,所述封装层将所述芯片封装,所述电极露出所述封装层背向所述承载层的表面。
技术关键词
芯片封装结构
光刻胶层
安装面
电子器件
凸点
电镀工艺
正面
电极
胶膜
载板
重布线层
封装芯片
蚀刻工艺
介质
掩模
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