一种基于分子动力学模拟的光刻材料显影液的筛选方法

本发明公开一种基于分子动力学模拟的光刻材料显影液的筛选方法。本发明将Hansen溶解度参数、二组分溶解度参数和序参数进行结合，可以快速从溶剂库中筛选出适合光刻材料显影液的溶剂范围，降低显影液筛选过程中的试错成本，加快光刻材料的研发进度。该筛选方法并不限制光刻材料的分子结构，普适性强，尤其对于新合成的光刻材料的显影液筛选效果更加明显，可应用于多种光刻材料的显影液筛选过程。