一种用于镁合金的低温聚焦离子束（FIB）样品制备方法

本发明提供了一种镁合金的低温聚焦离子束(FIB)样品制备方法，专为解决传统技术在制备过程中导致的样品损伤和变形问题，满足高精度透射电镜(TEM)分析的需求。该方法采用创新的温度控制技术，保持样品在极低温度，避免热变形。优化的离子束参数和实时成像反馈系统确保了加工过程的精确监控，减少损伤并提升样品质量。多级减薄技术和环境控制进一步提高了样品表面质量，增强了TEM分析的适用性和准确性，为镁合金微观结构研究提供了高效样品制备技术。