一种电子显微镜自动对焦方法及装置

本申请的实施例提供一种电子显微镜自动对焦方法及装置。应用于显微成像技术领域，所述方法包括：开机后，驱动物镜由第一预设位置向下移动，至限位开关被触发时，物镜停止移动，记录物镜当前第一位置z0，以其为基准，以预设步进值驱动物镜在多个不同位置进行拍照，确定清晰度最大的图片对应位置为最佳对焦位置；根据最佳对焦位置与第一位置计算固定位移差Δz；根据最佳对焦位置，确定物镜的预设起始位置；当获取到自动对焦指令时，驱动物镜由预设起始位置开始，向下移动到限位开关被触发时，记录此时物镜的第二位置，后将物镜从第二位置移动固定位移差Δz，完成自动对焦。以此方式，本申请能够快速准确地将物镜移动至最佳对焦点，缩短了对焦时间。