衬底处理系统

本发明的衬底处理系统中，堆料机装置、单片处理装置、接口装置及分批处理装置依序单列且直线状排列。堆料机装置的第1搬送机器人将载置在装载端口的载体搬送到堆料机装置侧位置。载体搬送机构将载体从堆料机装置侧位置搬送到接口装置侧位置。接口装置的第2搬送机器人将载体从接口装置侧位置搬送到托架。分批处理装置从搬送到托架的载体取出多片衬底，对取出的多片衬底进行规定的分批处理。单片处理装置对多片衬底(W)逐片进行处理。