扇入型封装结构的制备方法和扇入型封装结构

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扇入型封装结构的制备方法和扇入型封装结构
申请号:CN202410790243
申请日期:2024-06-19
公开号:CN118588572B
公开日期:2024-11-05
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种扇入型封装结构的制备方法和扇入型封装结构,涉及芯片封装技术领域,该制备方法首先将牺牲载板拼接至支撑载具,支撑载具内侧中部形成有第一介质层,该第一介质层将支撑载具分隔成第一凹槽和第二凹槽。再在第二凹槽内贴装晶圆,再在第二凹槽内填充胶层。然后再研磨减薄晶圆和胶层,再在第二凹槽中贴装结构载板。翻转后去除牺牲载板,然后在第一介质层的表面形成布线组合层,最后植球并切割。相较于现有技术,本发明采用了支撑载具,能够使得晶圆减薄后也能够得到良好的周缘支撑,从而解决晶圆卷曲的问题,无需占用晶圆的边缘区域,保证了晶圆有效区域,在第一凹槽内完成布线,划定了布线区域,保证了布线效果。
技术关键词
封装结构 介质 载板 布线 凹槽 焊球 芯片封装技术 焊盘 刻蚀停止层 端环 晶圆 外露 涂覆 卷曲 环状
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