摘要
本发明提供了一种扇入型封装结构的制备方法和扇入型封装结构,涉及芯片封装技术领域,该制备方法首先将牺牲载板拼接至支撑载具,支撑载具内侧中部形成有第一介质层,该第一介质层将支撑载具分隔成第一凹槽和第二凹槽。再在第二凹槽内贴装晶圆,再在第二凹槽内填充胶层。然后再研磨减薄晶圆和胶层,再在第二凹槽中贴装结构载板。翻转后去除牺牲载板,然后在第一介质层的表面形成布线组合层,最后植球并切割。相较于现有技术,本发明采用了支撑载具,能够使得晶圆减薄后也能够得到良好的周缘支撑,从而解决晶圆卷曲的问题,无需占用晶圆的边缘区域,保证了晶圆有效区域,在第一凹槽内完成布线,划定了布线区域,保证了布线效果。
技术关键词
封装结构
介质
载板
布线
凹槽
焊球
芯片封装技术
焊盘
刻蚀停止层
端环
晶圆
外露
涂覆
卷曲
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