一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法

本发明公开了一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法，属于太赫兹测量技术领域，方法包括：构建包括逆向模块和正向模块的无损检测模型；逆向模块的输入为第一椭偏光谱和第一补充光谱，输出为薄膜的折射率、消光系数和厚度，输出作为正向模块的输入；正向模块的输出为第二椭偏光谱和第二补充光谱；对仿真测量数据集进行预处理，得到退化测量数据集；将退化测量数据集中的椭偏光谱和补充光谱输入逆向模块，以正向模块输出的椭偏光谱和补充光谱相对于退化测量数据集中的椭偏光谱和补充光谱的误差最小为目标，训练无损检测模型。该方法充分利用多光束干涉信息，提高信号从待测物体所携带的信息量，从而获得更好的多层膜测量精度。