一种原位液相控温芯片及其制作方法

本发明公开了一种原位液相控温芯片及其制作方法，属于液相芯片技术领域，该芯片包括衬底、第一外膜、第二外膜、第三外膜和加热丝；所述衬底、下侧第一外膜、下侧第二外膜和下侧第三外膜的部分区域被去除形成悬空区域，所述上侧第一外膜中形成相连通的管路和腔体，所述加热丝经过所述腔体用于对所述腔体加热和测温。本发明所设计加工的电镜原位液相控温芯片，单片芯片内含密封管路和腔室，无需上下芯片对准和密封，操作简单；本发明所设计加工的电镜原位液相控温芯片，由于独特结构设计，具备控温快的优势，同时具备良好的结构稳定性，热飘移低。