摘要
本发明涉及一种扇出型半导体封装构件及其形成方法,涉及半导体技术领域,在本发明的扇出型半导体封装构件的形成方法中,通过对封装层的两个侧面进行处理以形成两个倾斜的侧面,进而形成金属纳米线层/金属层复合屏蔽结构,且通过对所述芯片封装体的四周边缘区域进行离子注入工艺,使得所述金属毛刺被氮化或氧化,通过控制离子注入的方向,可以有效使得金属毛刺被氮化或氧化,且不会损伤金属纳米线层/金属层复合屏蔽结构,然后再通过激光烧蚀工艺去除金属氮化物毛刺或金属氧化物毛刺时,可以方便毛刺去除干净,进而可以有效避免后续安装过程损伤印刷电路板的电路,有效避免短路现象。
技术关键词
半导体封装构件
芯片封装单元
复合屏蔽结构
金属纳米线层
离子注入工艺
激光烧蚀工艺
电路基板
金属氮化物
半导体芯片
喷涂工艺
金属氧化物
芯片封装体
四周边缘处
导电柱
旋涂工艺
电子束
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