摘要
本发明涉及一种散热型封装构件及其形成方法,涉及半导体技术领域。在本发明的散热型封装构件的形成方法中,通过在半导体芯片的背面形成第一凹槽和第二环形凹槽,所述第二环形凹槽包围所述第一凹槽,所述第一凹槽的深度大于所述第二环形凹槽的深度,且第一凹槽与半导体芯片的功能区相对应,并在第一凹槽中形成钝化绝缘介质层,并在钝化绝缘介质层形成金属离子注入区,进而热退火处理在钝化绝缘介质层形成金属纳米颗粒,进而可以将半导体芯片的功能区在工作时产生的热量快速导出。
技术关键词
散热型
半导体芯片
树脂封装层
绝缘
离子注入工艺
金属纳米颗粒
介质
凹槽
高浓度
散热块
环形
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