微机电促动器结构、结构元件

本发明涉及一种微机电促动器结构，所述微机电促动器结构具有微机电芯片，该微机电芯片具有芯片框架和驱动结构。驱动结构具有能掺杂的材料。驱动结构具有第一驱动单元和第二驱动单元。第一驱动单元具有第一衬底和第一电极结构。第一衬底具有第一掺杂。第一电极结构具有与第一掺杂相反的掺杂。第二驱动单元具有第二衬底和第二电极结构。第二衬底具有第二掺杂。第二电极结构具有与第二掺杂相反的掺杂。即，在衬底与第二电极结构之间分别构造有pn结。第一电极结构具有至少两个第一电极。第二电极结构具有至少一个第二电极。第一电极在第一电极平面中面式地并排布置。第二电极在第二电极平面中面式地布置。