摘要
本发明提出了一种具有电流调制的半导体激光芯片及制备方法,涉及半导体激光芯片芯片领域,由下至上依次堆叠的衬底层、n型限制层、n型波导层、量子阱有源区、p型波导层、第一p型限制层、第二p型限制层以及接触层,抗反射腔面与高反射腔面设置于第二p型限制层的相对两侧,功能区设置于抗反射腔面与高反射腔面之间,功能区包括电流注入子区和电流阻挡子区,电流注入子区具有多个注入尖端,电流阻挡子区具有多个阻挡尖端,注入尖端设置于任意两个相邻的阻挡尖端之间;第一p型限制层开设的两条沟槽贯穿第二p型限制层和接触层,两条沟槽位于电流注入子区和电流阻挡子区的相对两侧。本申请有助于提升半导体激光芯片的出光功率和光束质量。
技术关键词
半导体激光芯片
脊波导结构
接触层
电流
沟槽
衬底层
n型衬底
外延片
有源区
P面电极
半导体激光器
条纹结构
缓冲层
介质
光束
透镜
效应
系统为您推荐了相关专利信息
氮化镓基外延结构
阶梯式
渐变量子阱
缓冲层
势垒层
电能转换效率
分布式光伏电站
远程监控方法
覆盖率
灰尘
功率放大器
功率检测电路
功率放大电路
偏置电路
三极管
车速传感器
发动机转速
整车控制器
笛卡尔坐标系
曲线