摘要
本发明公开了一种组合传感器、麦克风和电子设备,涉及传感器技术领域,组合传感器包括基板、外壳、隔离壳、麦克风MEMS芯片、麦克风ASIC芯片、压力MEMS芯片和压力ASIC芯片,基板开设有声孔,外壳设置在基板的表面,并与基板围合形成容置腔,隔离壳设置在基板表面,并罩设于所述声孔,隔离壳开设有通孔;压力ASIC芯片设置于隔离壳朝向基板的一侧,并与基板电连接;压力MEMS芯片设置于隔离壳的任一侧,并与压力ASIC芯片电连接;麦克风MEMS芯片和麦克风ASIC芯片均设置于隔离壳朝向外壳的一侧,麦克风ASIC芯片分别与麦克风MEMS芯片和基板电连接;本发明的技术方案能够提升组合传感器的抗串扰效果。
技术关键词
ASIC芯片
MEMS芯片
组合传感器
麦克风
基板
压力
外壳
电子设备
传感器技术
通孔
尺寸
定义
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