摘要
本发明公开了集成电路技术领域的新型集成电路FOWLP工艺方法,S1、基板准备;S2、RDL层制作;S3、铜导线框架和芯片放置;S4、封装固化;S5、焊垫制备;S6、切割和封装。本发明通过优化RDL层的制作和芯片放置流程,确保了更高的布线精度和芯片对准精度,通过减小封装厚度和增加触点引脚数量,提高了信号传输的效率,减少了信号损失和干扰,采用ChipLast工艺,先进行RDL布线和测试,再放置合格芯片,提高了成品率和封装的长期稳定性,通过简化封装流程和提高材料利用率,降低了整体的封装成本,本发明的工艺方法不仅适用于调频射频芯片,还可以扩展到其他类型的信号芯片,具有广泛的适用性。
技术关键词
新型集成电路
物理气相沉积技术
基板
光刻胶涂覆
铜导线
种子层
集成电路技术
结构封装
焊垫
开孔位置
机械支撑
射频芯片
电镀
框架
调频
信号
布线
系统为您推荐了相关专利信息
封装基板
接地焊盘结构
封装结构
导电端子
芯片组件
半导体封装结构
封装基板
布线
金刚石基板
灌封胶
智能眼镜
位置检测装置
眼镜主体
重力传感器
霍尔元件