一种硅板运输装置

本发明涉及生物芯片的制备设备领域，具体是一种硅板运输装置，包括机架、设在机架上的工作台和熏蒸机构，所述工作台上设有至少一组硅板转运机构和三轴搬运机构；所述硅板转运机构包括硅板转运台和夹取机构，所述硅板转运台用于水平放置使用完后回收的硅板，所述夹取机构包括有门型架、丝杠滑台Ⅱ、旋转电机和夹头，丝杠滑台Ⅱ、旋转电机和夹头都安装在门型架上，门型架可左右滑行，所述旋转电机和夹头都安装到滑板上，滑板由丝杠滑台Ⅱ带动可上下移动；旋转电机用于带动夹头转动以使硅板可水平状态或竖直状态，当夹头夹持硅板为竖直状态时，硅板可被插放到存放篮中；三轴搬运机构用于夹抓存放篮。