晶舟系统、保持器环及其用途

一种晶舟系统，包括托架和配置为支撑托架中的晶片的多个保持器环。每个保持器环具有环形主体和从所述环形主体突出用于与晶片接触的环突起。在环突起处，环形主体的局部表面积与环形主体的局部表面积的圆周平均值或中值相比较小，特别是为了至少部分地补偿相应环突起的表面积，从而促进支撑在托架中的保持器环上的晶片上的气相沉积的均匀性。减小的局部表面积优选通过环形主体在环突起处的相对较大的内径来实现。托架可以为自动晶片定位提供参考结构。