摘要
本申请公开了一种激光器及其装配方法和使用方法,激光器包括激光芯片模组、盒体和洁净模块,激光芯片模组包括至少两个激光芯片;所述盒体设有耦合出光口,所述激光芯片模组设置在所述盒体中,所述激光芯片发出的光束通过所述耦合出光口合束射出;所述洁净模块连通于所述盒体内的空间,所述洁净模块至少用于在所述激光芯片模组运行之前或运行时对所述盒体的内部空间进行洁净。本申请的方案能够在确保激光器内部具有良好洁净氛围以确保激光芯片可靠性的同时,实现多个激光芯片的光线的空间合束,提高光功率的输出。
技术关键词
芯片模组
激光器
紫外灯
反射结构
光束
通气口
台阶
盒体
模块
光功率
气体
底板
负极
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