适用于大尺寸样品的全场光学相干层析三维工业缺陷检测系统和方法

本申请涉及缺陷检测技术领域，尤其涉及一种适用于大尺寸样品的全场光学相干层析三维工业缺陷检测系统和方法，全场干涉成像系统产生的干涉条纹照明样品；控制三维位移平台按预设轨迹对样品进行多次横向移动，样品每次移动完成后同步控制波长可调谐激光器在面阵相机的曝光时间内完成波长扫描；面阵相机将样品各个位置处采集的三维数据传输给控制器；控制器对三维原始数据进行图像重建、拼接融合并渲染显示。本发明综合面扫描的全场OCT技术和激光扫频技术，根据全场扫频OCT的原理获得大尺寸样品的局部三维结构信息，借助图像拼接算法将相邻区域的局部重建结果进行拼接融合，呈现完整三维成像结果，以便对整个大尺寸样品的上下表面及内部缺陷进行检测。