晶圆组件的控制方法及晶圆组件

本申请公开了晶圆组件的控制方法及晶圆组件。该控制方法包括：根据IMU传感器的第一历史数据获取晶圆组件的历史动作、第一历史速度，以及根据IMU传感器的预测数据获取预测动作；对比学习历史动作和预测动作，得到对比结果；根据第一历史速度和历史动作得到预测速度；根据图像传感器的第二历史数据和第一历史数据得到第二历史速度；利用预测速度和第二历史速度进行策略更新；结合更新后的策略和对比结果控制晶圆组件移动。通过上述方式，解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。