一种基于光度立体视觉的芯片表面缺陷检测系统和方法

本发明公开了一种基于光度立体视觉的芯片表面缺陷检测系统和方法；包括图形采集装置与数据处理系统，所述数据处理系统包括：光源模块：用于提供分布均匀照明；数据处理模块：用于接收图像数据，并进行预处理；图像增强模块：用于对预处理后的图像进行增强，提高图像中的关键特征；缺陷检测模块：用于分析增强后的图像并识别出存在的缺陷；显示控制模块：用于显示检测结果；图形采集装置包括：所述光源模块、计算机控制和处理系统；本发明基于光度立体视觉的芯片表面缺陷检测系统和方法，利用粒子群优化Gabor滤波器参数的增强方法提高了芯片图像质量，设计深度学习目标检测算法用于提升缺陷缺陷检测精度，能够实现快速、准确识别芯片表面缺陷的需求。