一种用于芯片转印的激光设备及其控制方法

本发明公开了一种用于芯片转印的激光设备及其控制方法，具体涉及半导体光电技术领域，包括主体和位于主体内部设置的安装板，还包括支撑机构，支撑机构上安装有临时载板与目标基板，用于对临时载板与目标基板进行支撑限位。本发明通过辅助剥离机构的设置，在对芯片进行转印的过程中，可以对临时载板进行吹气和吸气，一方面使临时载板产生气泡，并对芯片进行挤压，防止芯片掉落时出现位置偏移，避免影响芯片与目标基板之间的连接质量，节省能源消耗；另一方面可以对气泡进行吸气，使得气泡可以迅速恢复，从而提高转移效率，避免影响相邻的芯片发生倾斜，从而提高转移良率。