摘要
本发明提供一种基于印刷烧结的功率芯片封装方法、封装结构,方法包括:在基板上钻第一通孔、第二通孔;在基板底面设置刚性保护层,刚性保护层设有第一空间、第二空间;进行微纳金属膏体印刷,膏体填充第一通孔、第二通孔、第一空间、第二空间;在第一通孔、第二通孔的上方周围分别形成台阶状微纳金属膏体;在第一通孔上方的台阶状微纳金属膏体上贴片;烧结,第一通孔上、下方,第二通孔上、下方分别形成导电金属层;导电金属层与对应通孔中金属形成金属互连体;在芯片功能层、第二通孔上方导电金属层上打线;将得到的结构塑封。该方法采用印刷烧结工艺替代传统的沉铜电镀工艺,提高了生产效率,降低了环境污染,提升了芯片的可靠性。
技术关键词
功率芯片封装方法
导电金属层
金属膏体
功率芯片封装结构
通孔
基板
金属互连
球状
台阶
柱状
电镀工艺
烧结工艺
印刷网
上印刷
导线
贴片
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