一种多电子束光刻装备电子光学系统结构及其制造方法

本发明公开了一种多电子束光刻装备中的MEMS基电子光学系统结构及制造方法，其中MEMS器件中电子光学系统结构为核心部件，其能够将入射在孔中电子束进行分束、收束、聚焦，并实现调节对中及像散的功能。通过控制芯片，利用传输线，传输线再与不同金属线所对应凸点连接，并将电压加至MEMS微孔阵列旁边的金属膜层上；通过调整金属膜中电压以控制电场强度，实现对入射电子束的收束、聚焦等功能，最终能将束斑投影至写场中的任一位置，有利于电子光学系统的小型化。