一种LED芯片及其制备方法、设备

本发明提供了一种LED芯片及其制备方法、设备，涉及半导体技术领域。该LED芯片的制备方法对E‑GUN机台的坩埚位置进行了调整，在通过E‑GUN机台蒸镀电极之前，调整E‑GUN机台内的坩埚偏移中心位置到达目标位置，以使制备的电极指条在第一方向上两侧的斜边角度相同，进而避免电极指条上的绝缘层在严苛的老化过程中出现断裂导致LED芯片出现漏电、死灯的现象发生，最终提高LED芯片的应用范围。