晶圆的临时键合设备和键合方法

本发明提供了一种晶圆的临时键合设备和键合方法，所述临时键合设备的上下料组块对应所述工艺组块设置，下料组块用于向工艺组块传递载片晶圆和器件晶圆，工艺组块至少包括键合单元、涂覆单元、键合胶厚度检测模块、热处理工艺塔和工艺区域机器人。工艺区域机器人用于单次传递晶圆进入或离开其他单元，涂覆单元用于将键合胶涂覆到晶圆的键合面，键合单元用于完成两个晶圆的键合，热处理工艺塔用于对涂胶晶圆或键合晶圆进行工艺处理，键合胶厚度检测模块用于检测键合晶圆的胶层厚度，本设备通过不同功能的模块搭配合理、简单，便于实现模块的标准化，不同的生产工艺配置合理，且功能种类上满足整个工艺流程的需求。