一种硅片搭边视觉检测装置及方法

本发明公开一种硅片搭边视觉检测装置及方法。所述硅片搭边视觉检测装置包括：面阵相机。所述面阵相机在拍摄时对位于用于锁紧硅片边角的载板旋钮，所述面阵相机的视场覆盖所述硅片边角和所述载板旋钮，以得到关于所述硅片边角和所述载板旋钮的检测图像。本发明的有益效果在于：通过所述硅片搭边视觉检测装置及方法，能够精准地检测是否硅片搭边以及是否锁紧载板旋钮，进而有效地避免硅片因搭边而导致锁紧碎片以及因未锁紧载板旋钮而导致掉落的情形。