一种三维射频微系统的柔性微流控散热装置

本发明一种三维射频微系统的柔性微流控散热装置，属于集成电路/射频微系统热设计领域。第二微流道对接于第一微流道下方，其中心设有容纳工质的空腔。第一微流道设有进液流道，第二微流道设有出液流道，均接通空腔。超声波换能器阵列安装于第二微流道下方，并与超声信号发生板卡相连。工质分流层位于超声信号发生板卡下方，用于连通进液流道、出液流道、微泵、换热器。微泵位于工质分流层下方，用于向空腔泵入工质。换热器位于微泵下方，用于冷却工质。本发明将超声波换能器阵列合成的任意局部声场引入微流控中，将流体在稳态谐波场累加作用下产生的二阶声流场叠加在微流道工质内，实现对不同布阵形式的三维射频微系统阵列温度场柔性调控。