一种垂直LED芯片结构及制作方法

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一种垂直LED芯片结构及制作方法
申请号:CN202410919561
申请日期:2024-07-10
公开号:CN118888671A
公开日期:2024-11-01
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种垂直LED芯片结构及制作方法,包括导电衬底;所述导电衬底下设有背面金属层;所述导电衬底上设有键合金属层;所述键合金属层上设有反射键合金属层;所述反射键合金属层上有欧姆接触金属层;所述欧姆接触金属层上设有钝化绝缘层;所述钝化绝缘层上设有外延材料层;所述外延材料层上设有绝缘保护层;所述绝缘保护层上设有金属手指及焊盘电极;本申请利用巨量转移技术和先进封装技术,用mi cro LED芯片制作传统尺寸的垂直LED芯片,成本低,不遮光,出光效率高,切焊线过程中对芯片无损伤;同时垂直LED芯片可集成更多的功能性器件;很好的解决了现有技术中存在的技术问题,提高了生产效率,满足了企业生产需求,提升了企业竞争力。
技术关键词
垂直LED芯片 背面金属层 衬底 microLED芯片 透明导电层 绝缘 先进封装技术 巨量转移技术 叠层 LED外延片 半导体层 无机材料 焊盘电极
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