摘要
本申请公开了一种垂直LED芯片结构及制作方法,包括导电衬底;所述导电衬底下设有背面金属层;所述导电衬底上设有键合金属层;所述键合金属层上设有反射键合金属层;所述反射键合金属层上有欧姆接触金属层;所述欧姆接触金属层上设有钝化绝缘层;所述钝化绝缘层上设有外延材料层;所述外延材料层上设有绝缘保护层;所述绝缘保护层上设有金属手指及焊盘电极;本申请利用巨量转移技术和先进封装技术,用mi cro LED芯片制作传统尺寸的垂直LED芯片,成本低,不遮光,出光效率高,切焊线过程中对芯片无损伤;同时垂直LED芯片可集成更多的功能性器件;很好的解决了现有技术中存在的技术问题,提高了生产效率,满足了企业生产需求,提升了企业竞争力。
技术关键词
垂直LED芯片
背面金属层
衬底
microLED芯片
透明导电层
绝缘
先进封装技术
巨量转移技术
叠层
LED外延片
半导体层
无机材料
焊盘电极
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